1999-07-092020-01-032022-11-252020-01-032022-11-251998https://orlis.difu.de/handle/difu/50171Mikrosystemtechnik. Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts. 22. Juni 1998 Wissenschaftszentrum für Sozialforschung Berlin.Graue LiteraturDF2797TechnologieForschungspolitikStandortWirtschaftsförderungMikrosystemtechnikSchlüsseltechnologieForschungsinstitutForschungsförderung